三温液冷机Chiller ZL-20A替代ATS DEX-20A

三温液冷机Chiller ZL-20A替代ATS DEX-20A

Chiller ZL-20A是一台对循环液进行温度控制并输出冷热液的装置。具有温度稳定性高、温度范围广、故障自诊断、外部通信等丰富功能。采用的制冷及温度控制技术，具有广的温度范围:-20℃ 至+80℃，在半导体制作过程/激光加工机/分析装置/LCD制造装置/金属模具温控等行业用途广。

三温液冷机Chiller ZL-20A替代ATS DEX-20A

宽温度范围：-20°C~+80°C

占地面积小

触摸屏操作：友好的人机交互界面

多重保护：空液保护、异常传感器诊断等多重人机保护

为满足 200 毫米和 300毫米 OEM 工具规格而设计

三温液冷机Chiller ZL-20A替代ATS DEX-20A

应用于半导体、激光、FPD，如:半导体(蚀刻装置、CMP、涂布机·显影机、试验机、清洗机)激光(激光加工机·激光焊接机、激光器、光纤激光器用传送电缆接头、超声波检查装置、二次电池制造工程)可适用于广的行业，如制药、化工、新能源、半导体、实验室、高校等多种领域

冷机ZL-20A替代ATS DEX-20A

zonglen三温液冷机ZL-20A替代ATS DEX-20A，Chiller ZL-20A是一台对循环液进行温度控制并输出冷热液的装置。具有温度稳定性高、温度范围广、故障自诊断、外部通信等丰富功能。采用的制冷及温度控制技术，具有广的温度范围:-20℃ 至+80℃，在半导体制作过程/激光加工机/分析装置/LCD制造装置/金属模具温控等行业用途广